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发明名称 Endcap for indirectly heated cathode of ion source
摘要
申请公布号 EP0851453(B1) 申请公布日期 2003.08.06
申请号 EP19970310255 申请日期 1997.12.16
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 HORSKY, THOMAS NEIL;REYNOLDS, WILLIAM EDWARD;CLOUTIER, RICHARD MAURICE
分类号 C23C14/48;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/14;H01J1/20;H01J27/20 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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