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发明名称 VACUUM CATHODIC ARC EVAPORATION PROCESS FOR THE PREPARATION OF WEAR RESISTANT COATINGS
摘要
申请公布号 EP1173629(B1) 申请公布日期 2003.08.06
申请号 EP20000910492 申请日期 2000.03.17
申请人 SHM, S.R.O. 发明人 HOLUBAR, PAVEL,;JILEK, MOJMIR
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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