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经营范围
发明名称
Method of doping a semiconductor
摘要
申请公布号
EP1271628(A3)
申请公布日期
2003.08.06
申请号
EP20020012665
申请日期
2002.06.07
申请人
ATMEL GERMANY GMBH
发明人
BROMBERGER, CHRISTOPH;DIETZ, FRANZ;DUDEK, VOLKER, DR.;GRAF, MICHAEL, DR.;HERRFURTH, J.;KLAUSSNER, MANFRED
分类号
H01L21/265;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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