发明名称 编码器和编码器用编码盘以及编码盘及其模具的制造方法
摘要 提供了能探测绝对位置的高分辨率编码器用编码盘及其模具的制造方法。用透明基板形成的编码器用编码盘具有设于其上的在各个面上有不同图案的许多光道,以及设于这多个光道之间的与这多个光道上的上述各面高度相异的光道间区域;而上述模具制造方法包括下述各步骤:于第一材料上加工出各具有平坦面的许多光道、于此许多光道间加工出与上述平坦面有不同高度的光道间区域、对此第一材料的图案镀层、从此第一材料上剥离此镀层而获得模具。
申请公布号 CN1434272A 申请公布日期 2003.08.06
申请号 CN03102787.3 申请日期 2003.01.21
申请人 三菱电机株式会社 发明人 阪本雅彦;杉本耕一;釜倉克寿;大谷真博;川岛康嗣;东岡制;今泉贤;村上治
分类号 G01D5/32;G01B11/00 主分类号 G01D5/32
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.编码器用编码盘,它是用透明基板形成的编码器用编码盘,它具有设于此透明基板上的在各个面上有不同图案的许多光道,以及设于这多个光道之间的与这多个光道的上述各面高度相异的光道间区域。
地址 日本东京