METHOD FOR FORMING INTERLAYER DIELECTRIC WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT,申请号KR20030004801-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR FORMING INTERLAYER DIELECTRIC WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT
摘要
申请公布号	KR20030065345(A)	申请公布日期	2003.08.06
申请号	KR20030004801	申请日期	2003.01.24
申请人		发明人
分类号	C23C16/42;H01L21/31;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/316	主分类号	C23C16/42
代理机构		代理人
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