发明名称 TEST HEAD ACTUATION SYSTEM WITH POSITIONING AND COMPLIANT MODES
摘要
申请公布号 EP1332376(A2) 申请公布日期 2003.08.06
申请号 EP20010989901 申请日期 2001.11.05
申请人 TERADYNE, INC. 发明人 BOSY, BRIAN, J.
分类号 G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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