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发明名称
TEST HEAD ACTUATION SYSTEM WITH POSITIONING AND COMPLIANT MODES
摘要
申请公布号
EP1332376(A2)
申请公布日期
2003.08.06
申请号
EP20010989901
申请日期
2001.11.05
申请人
TERADYNE, INC.
发明人
BOSY, BRIAN, J.
分类号
G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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