| 发明名称 |
METHOD OF REMOVING ORGANIC MATERIALS FROM SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1123166(A4) |
申请公布日期 |
2003.08.06 |
| 申请号 |
EP19990943798 |
申请日期 |
1999.08.20 |
| 申请人 |
ANON INC. |
发明人 |
WALEH, AHMAD;LEVENSON, ERIC, O. |
| 分类号 |
G02F1/13;B08B3/08;B08B3/10;B08B7/00;G03F7/42;G09F9/00;G09F9/30;G11B5/31;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):B08B3/00;B08B3/12;C23G1/00 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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