发明名称 Semiconductor apparatus including CMOS circuits and method for fabricating the same
摘要
申请公布号 US6603179(B2) 申请公布日期 2003.08.05
申请号 US20010995513 申请日期 2001.11.28
申请人 NEC ELECTRONICS CORPORATION 发明人 ANDO KOICHI;MAKABE MARIKO;KOYAMA SHIN
分类号 H01L21/225;H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L31/119;H01L31/113;H01L31/062;H01L29/94;H01L29/76;H01L21/336;H01L21/823 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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