发明名称 |
Semiconductor apparatus including CMOS circuits and method for fabricating the same |
摘要 |
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申请公布号 |
US6603179(B2) |
申请公布日期 |
2003.08.05 |
申请号 |
US20010995513 |
申请日期 |
2001.11.28 |
申请人 |
NEC ELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
ANDO KOICHI;MAKABE MARIKO;KOYAMA SHIN |
分类号 |
H01L21/225;H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L31/119;H01L31/113;H01L31/062;H01L29/94;H01L29/76;H01L21/336;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/225 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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