包含锗矽化物/矽化物异质接合面之双极电晶体之制造

摘要

一种用来制造异质接合面之双极电晶体的导体基板。该半导体包含一主要由矽所形成之基板，沈积以覆盖矽基板之一锗矽化物层，以及实质上由矽组成之一保护矽化物层。保护矽化物层系沈积于锗矽化物层上。