| 主权项 |
1.一种探针卡运送装置,是用来将探针卡运送至探针装置的探针卡运送装置,其特征为具有以下机构:可相对于该探针装置而移动的本体;设置在该本体上与该探针装置相对向之侧的侧面的复数个连结机构,该连结机构可与设置在上述探针装置的被连结具连结;设置在该本体的该探针卡载置机构,该探针卡载置机构能以载置有该探针卡的状态朝水平方向移动;以及设置在该本体之用来使该探针卡载置机构升降的升降机构。2.如申请专利范围第1项之探针卡运送装置,其中,前述探针卡载置机构具有用来载置该探针卡,然后从该本体移动至探针装置内部所配置的载置台的臂部。3.如申请专利范围第1项之探针卡运送装置,其中,上述连结机构为了与该被连结具位置一致,具有与该被连结具卡合的卡合具;以及用来与该被连结具连结的连结具。4.如申请专利范围第1项之探针卡运送装置,其中,上述探针卡运送装置又具有事先用来调整复数个连结机构的各个位置的主要治具。5.如申请专利范围第3项之探针卡运送装置,其中,前述连结机构是设置在该本体之前述侧面当中的至少三个部位。6.如申请专利范围第3项之探针卡运送装置,其中,前述连结机构是利用可微移动的构造安装在该本体的前述侧面。7.如申请专利范围第3项之探针卡运送装置,其中,前述本体具有用来解除该连结具与该被连结具之连结的机构。8.如申请专利范围第1项之探针卡运送装置,其中,前述探针卡运送装置又具有用来确认该探针卡是否载置于该探针卡载置机构上的感测器。9.如申请专利范围第1项之探针卡运送装置,其中,前述升降机构具有Z方向的球状螺丝;以及使该球状螺丝旋转的电动机。10.一种探针卡运送方法,其特征为具有以下步骤:使具有探针卡载置机构的探针卡运送装置与探针装置连结;将前述探针卡载置机构插入上述探针装置内的预定位置;使探针卡载置机构朝向设置于前述探针装置内上部的夹钳机构上升;在该夹钳机构与该探针卡载置机构之间装脱探针卡;使该探针卡载置机构下降至上述预定位置;使该探针卡载置机构回到前述探针卡运送装置;以及解除前述探针卡运送装置与探针装置之连结。11.如申请专利范围第10项之探针卡运送方法,其中,在使探针卡运送装置与探针装置连结之前,利用主要治具来调整探针卡运送装置上所设置的连结机构的位置。图式简单说明:第1图是本发明探针卡运送装置之一实施形态的图。第1A图是探针卡运送装置与探针装置连结前的动作说明图,第1B图是将探针卡运送装置的探针卡运送机构插入探针装置内的动作说明图。第2图是利用主要治具调整第1图所示之探针卡运送装置的连结机构之安装位置时的侧视图。第3图是利用第1图所示之探针卡运送装置调整探针装置之被连结具的位置的动作说明图。第3A图是其俯视图,第3B图是其侧视图。第4图是利用探针卡运送装置的连结机构调整探针装置之被连结具的位置后,使连结机构与被连结具连结前的状态图。第4A图是其俯视图,第4B图是其侧视图。第5图是探针装置之被连结具与探针卡运送装置之连结机构的连结状态图。第5A图是其俯视图,第5B图是其侧视图。第6图是利用探针卡运送装置的连结机构调整探针装置之被连结具的安装位置时的动作说明图。第6A图是其俯视图,第6B图是其侧视图。第7图是本发明探针卡运送装置之一实施形态的更详细说明图,而且是探针卡运送装置与探针装置连结前的动作说明图。第8图是将第1图所示之探针卡运送装置的探针卡运送机构插入探针装置内的更详细动作说明图。第9图是第1图所示之探针卡运送装置中的锁固机构的更详细侧视图。第10图是第1图所示之探针卡运送装置的连结机构之构造的更详细说明图,第10A图是俯视图,第10B图是侧视图。第11图是第1图所示之探针卡运送装置当中连结机构的安装配置的侧视图。 |
