| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'UN MATERIAU PAR RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE ET SOUS ATMOSPHERE CONTROLEE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2792774(B1) |
申请公布日期 |
2003.08.01 |
| 申请号 |
FR19990005413 |
申请日期 |
1999.04.26 |
| 申请人 |
JOINT INDUSTRIAL PROCESSORS FOR ELECTRONICS |
发明人 |
TOUCHAIS PAPET EMMANUELLE;DUCRET RENE PIERRE |
| 分类号 |
B01J19/12;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/324;H01L21/268 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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