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发明名称
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摘要
申请公布号
KR20030064330(A)
申请公布日期
2003.07.31
申请号
KR20030004770
申请日期
2003.01.24
申请人
发明人
分类号
H05B33/00;H05B33/26;G09F9/30;H01J1/62;H01J63/04;H01L27/32;H01L51/50;H01L51/52;H05B33/14
主分类号
H05B33/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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