发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR INTEGRIERTE SCHALTKREISE MIT REDUZIERTER DIMENSION
摘要
申请公布号 DE69807718(T2) 申请公布日期 2003.07.31
申请号 DE1998607718T 申请日期 1998.01.29
申请人 ULTRATECH STEPPER INC., SAN JOSE 发明人 TALWAR, SOMIT;KRAMER, KARL-JOSEF;VERMA, GUARAV;WEINER, KURT
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/08;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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