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发明名称 Lagekoordinaten-Messgerät zur Vermessung von Strukturen auf einem transparenten Substrat
摘要
申请公布号 DE59906104(D1) 申请公布日期 2003.07.31
申请号 DE19995006104 申请日期 1999.04.16
申请人 LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH 发明人 BLAESING-BANGERT, CAROLA;RINN, KLAUS;KACZYNSKI, ULRICH;BECK, MATHIAS
分类号 B65G23/44;G01B11/02;G02B21/08;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 B65G23/44
代理机构 代理人
主权项
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