| 摘要 |
<p>L'invention concerne un dispositif d'inspection (1) utilisant un microscope électronique à balayage (6a) pouvant inspecter et mesurer une quelconque partie d'un objet sans le détruire, quelle que soit la taille de cet objet, et comprenant une partie de formation de vide local (9) servant à former une zone de vide local, par protection de la périphérie de la partie inspectée de l'objet inspecté par rapport à l'air extérieur, cette partie de formation de vide local comportant en outre une partie de décharge destinée à décharger de l'air pour former la zone de vide local ; une partie élévatrice (14) conçue pour élever la totalité de la partie de formation de vide local à partir de l'objet inspecté, par émission d'un jet de gaz comprimé vers le segment périphérique extérieur de la partie de formation de vide local ; ainsi qu'une partie de mesure de longueur (16) conçue pour mesurer une distance entre l'objet inspecté et la partie de formation de vide local, pour commander l'élévation de la partie de formation de vide local effectuée par la partie d'élévatrice.</p> |
