压电谐振器及其制造方法

摘要

本发明提供一种压电谐振器及其制造方法。是一种能量截溜型的厚度纵向振动模的压电谐振器。压电谐振器的制造方法的其特征是：在制造设有压电体(2)、及在所述压电体(2)的两主面上形成的第1与第2振动电极(3)、(4)的利用能量截溜型厚度纵向振动模的压电谐振器(1)时，作为压电体(2)压电体的平均孔径为R(μm)、气孔率为A(％)时，使用在利用频率范围内满足Qe＝C/(R×A)的R与A的压电材料所构成的压电体(但是，C为由构成压电体的压电材料所单义决定的常数)。可不受压电材料的种类、压电体的尺寸、以及使用频率限制，且能够使利用的振动模的响应充分大。

主权项

1.一种压电谐振器的制造方法，其特征在于：是利用设置有压电体、及在所述压电体的两主面上形成，与压电体的一部分区域相重合的第1与第2振动电极的厚度纵向振动模的能量截溜型压电谐振器的制造方法；所述制造方法包括以下工序：在平均孔径为R(μm)、气孔率为A(％)时，由对于作为目标频率的Qe值，满足Qe＝C/(R×A)的R与A的压电材料所构成的压电体的准备工序(但是，C为由构成压电体的压电材料所单义决定的常数)，以及在所述压电体的两主面上形成第1与第2振动电极的工序。