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发明名称 Sample processing apparatus
摘要
申请公布号 EP0751552(B1) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP19960112707 申请日期 1990.02.07
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KAWASAKI, YOSHINAO;KAWAHARA, HIRONOBU;SATO, YOSHIAKI;FUKUYAMA, RYOOJI;NOJIRI, KAZUO;TORII, YOSHIMI
分类号 H01L21/00;H01L21/302;C23F4/00;H01J37/18;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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