| 发明名称 |
ARRANGEMENT FOR TRANSPORTING A SEMICONDUCTOR WAFER CARRIER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1330835(A1) |
申请公布日期 |
2003.07.30 |
| 申请号 |
EP20010988944 |
申请日期 |
2001.10.01 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG |
发明人 |
PEITER, MARTIN |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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