| 发明名称 |
BONDING DEVICE AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003235633(A1) |
申请公布日期 |
2003.07.30 |
| 申请号 |
AU20030235633 |
申请日期 |
2003.01.15 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
KARLHEINZ BOCK;MARTIN KONIG |
| 分类号 |
H01L21/50;H01L21/58;H01L21/98;H01L51/00;H01L51/30;(IPC1-7):H01L21/98 |
主分类号 |
H01L21/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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