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发明名称 A tool for the contact-free support of plate-like substrates
摘要
申请公布号 EP0961309(B1) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP19990109589 申请日期 1999.05.14
申请人 SEZ AG 发明人 FREY, HELMUT ING.
分类号 H01L21/677;B25J15/06;B65G49/07;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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