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发明名称 ELECTROCHEMICAL EDGE AND BEVEL CLEANING PROCESS AND SYSTEM
摘要
申请公布号 AU2002358291(A1) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 AU20020358291 申请日期 2002.12.23
申请人 NUTOOL, INC. 发明人 BULENT, M. BASOL
分类号 C25F3/12;C25F3/14;C25F7/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/00;C25F3/02;B08B3/10;C25D5/08;C25D5/48;C25D7/12;C25D17/00;B05B5/035;B05B5/16;B05B7/08;B05C5/02;C23F1/00;B23H3/00;H01L21/306;H01L21/288;C23C18/38;C25F1/00 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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