齿轮及其制作方法

摘要

为了蜗杆(1)旋转，在基板(3)上形成间隙(形成与轴承部，蜗轮的间隙部分区域)(图4(1)～图4(3))。形成制造蜗杆的下半部区域的模具(12)(图4(8))。将蜗杆材料(5)堆积到下半部区域与蜗杆的上半部的高度(图4(9))。形成蜗杆的上半部(图4(10)～图4(12))。最后，为了齿轮可以旋转，除去位于基板(3)与齿轮(1)的间隙内的材料(13)(图4(13))。

主权项

1.齿轮制造方法，制造齿轮彼此间机械地啮合传递力，为了旋转在周面上设置突起的齿轮，通过磁力非接触地传递力、为了旋转在周面上设置磁性齿的齿轮，通过静电力非接触地传递力、为了旋转在周面上设置静电齿的齿轮，其特征为，采用半导体工艺用的薄膜形成技术及微型加工技术，形成前述齿轮的旋转轴相对于基板面平行的蜗杆，垂直于基板面的蜗杆，相对于基板面平行的正齿轮，以及垂直于基板面的伞齿轮，进而，前述齿轮的旋转轴相对于基板面倾斜的蜗杆，正齿轮及伞齿轮。