发明名称 METHODS AND DEVICES FOR ENHANCING BONDED SUBSTRATE YIELDS AND REGULATING TEMPERATURE
摘要
申请公布号 EP1311346(A4) 申请公布日期 2003.07.30
申请号 EP20010948489 申请日期 2001.06.18
申请人 CALIPER TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 CHAZAN, DAVID;BOUSSE, LUC, J.;BROOKS, CARLTON;LOUCH, DEREK;SPAID, MICHAEL, R.
分类号 B01L3/00;B01L3/02;B01L7/00;B81C3/00;G01N27/26;(IPC1-7):B01L3/00 主分类号 B01L3/00
代理机构 代理人
主权项
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