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发明名称
METHODS AND DEVICES FOR ENHANCING BONDED SUBSTRATE YIELDS AND REGULATING TEMPERATURE
摘要
申请公布号
EP1311346(A4)
申请公布日期
2003.07.30
申请号
EP20010948489
申请日期
2001.06.18
申请人
CALIPER TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人
CHAZAN, DAVID;BOUSSE, LUC, J.;BROOKS, CARLTON;LOUCH, DEREK;SPAID, MICHAEL, R.
分类号
B01L3/00;B01L3/02;B01L7/00;B81C3/00;G01N27/26;(IPC1-7):B01L3/00
主分类号
B01L3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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