| 发明名称 |
Treatment installation for flat substrates |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2348212(B) |
申请公布日期 |
2003.07.30 |
| 申请号 |
GB20000006605 |
申请日期 |
2000.03.17 |
| 申请人 |
* LEYBOLD SYSTEMS GMBH;* BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG;* UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH;* APPLIED FILMS GMBH & CO.KG |
发明人 |
KARL-HEINRICH * WENK |
| 分类号 |
C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
