发明名称 具有隐藏式热电偶支脚的热电堆红外线元件及其制造方法
摘要 一种具有隐藏式热电偶支脚的热电堆红外线元件包括:一硅基板;一洼部,形成于该基板上;多个热电偶支脚,以悬臂的方式形成于该基板上洼部的上方,各热电偶支脚具有一第一端与位于该第一端反侧的一第二端,该第一端是与该基板连接,以形成一冷接触端,该第二端是与该基板距离一预定的距离;及一悬浮薄板,形成于该多个热电偶支脚的上方,该悬浮薄板是藉由该热电偶支脚的该第二端而受到支撑,以形成一热接触端,且该多个热电偶支脚是实质上隐藏或完全罩覆于该悬浮薄板下方。
申请公布号 CN1433089A 申请公布日期 2003.07.30
申请号 CN02102055.8 申请日期 2002.01.18
申请人 祥群科技股份有限公司;周正三 发明人 周正三
分类号 H01L35/00;G01K7/02;G01J1/02;H01L31/00 主分类号 H01L35/00
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种具有隐藏式热电偶支脚的热电堆红外线元件,包括:一硅基板;一洼部,形成于该硅基板上;多个热电偶支脚,以悬臂的方式形成于该洼部的上方,各热电偶支脚具有一第一端与位于该第一端反侧的一第二端,该第一端与该基板连接,以形成一冷接触端,该第二端与该基板距离一预定的距离;及一悬浮薄板,形成于该多个热电偶支脚的上方,该悬浮薄板藉由该热电偶支脚的该第二端而受到支撑,以形成一热接触端,且该多个热电偶支脚基本上隐藏于该悬浮薄板下方。
地址 台湾省新竹市