发明名称 |
具有隐藏式热电偶支脚的热电堆红外线元件及其制造方法 |
摘要 |
一种具有隐藏式热电偶支脚的热电堆红外线元件包括:一硅基板;一洼部,形成于该基板上;多个热电偶支脚,以悬臂的方式形成于该基板上洼部的上方,各热电偶支脚具有一第一端与位于该第一端反侧的一第二端,该第一端是与该基板连接,以形成一冷接触端,该第二端是与该基板距离一预定的距离;及一悬浮薄板,形成于该多个热电偶支脚的上方,该悬浮薄板是藉由该热电偶支脚的该第二端而受到支撑,以形成一热接触端,且该多个热电偶支脚是实质上隐藏或完全罩覆于该悬浮薄板下方。 |
申请公布号 |
CN1433089A |
申请公布日期 |
2003.07.30 |
申请号 |
CN02102055.8 |
申请日期 |
2002.01.18 |
申请人 |
祥群科技股份有限公司;周正三 |
发明人 |
周正三 |
分类号 |
H01L35/00;G01K7/02;G01J1/02;H01L31/00 |
主分类号 |
H01L35/00 |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种具有隐藏式热电偶支脚的热电堆红外线元件,包括:一硅基板;一洼部,形成于该硅基板上;多个热电偶支脚,以悬臂的方式形成于该洼部的上方,各热电偶支脚具有一第一端与位于该第一端反侧的一第二端,该第一端与该基板连接,以形成一冷接触端,该第二端与该基板距离一预定的距离;及一悬浮薄板,形成于该多个热电偶支脚的上方,该悬浮薄板藉由该热电偶支脚的该第二端而受到支撑,以形成一热接触端,且该多个热电偶支脚基本上隐藏于该悬浮薄板下方。 |
地址 |
台湾省新竹市 |