| 发明名称 | 用以检测浮渣/封闭接触孔和线路的CD－SEM信号分析 | ||
| 摘要 | 提供了一种在圆片(26)中检测浮渣的系统(20)，该系统(20)包含：分析系统(24)，用于提供对应于圆片(26)表面部分的信号(18)；以及处理系统(44)，其可操作地连接到该分析系统(24)；其中处理系统(44)配置为根据该信号(18)中至少一部分(18a，18c)的形状，检测圆片(26)中的浮渣。 | ||
| 申请公布号 | CN1433570A | 申请公布日期 | 2003.07.30 |
| 申请号 | CN00818737.1 | 申请日期 | 2000.12.13 |
| 申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | B·K·楚;B·新恩;S·K·耶德;K·A·泛 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;程伟 |
| 主权项 | 1.一种检测圆片(26)中浮渣的系统(20)，该系统包含：分析系统(24)，用于提供对应于圆片(26)表面部分的信号(18)；以及处理系统(44)，可操作地连接到该分析系统(24)；其中，该处理系统(44)配置成确定该信号(18)中至少一部分(18a，18c)的形状，并且其中该处理系统(44)基于该信号(18)中至少一部分(18a，18c)的形状而检测圆片(26)中的浮渣。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||