发明名称 一种铜膜的制备方法
摘要 一种铜膜的制备方法,其特征在于:以晶粒尺寸小于100nm的纳米金属Cu为原材料,纯度高于99.995wt%,密度为8.91±0.03g/cm<SUP>3</SUP>,在室温冷轧,变形速率:1×10<SUP>-5</SUP>~1×10<SUP>1</SUP>/s。本发明制备出的铜膜表面质量好,可以达到很薄的厚度,并且工艺简单,使用普通的轧制设备即可实现。
申请公布号 CN1116130C 申请公布日期 2003.07.30
申请号 CN00110288.5 申请日期 2000.04.05
申请人 中国科学院金属研究所 发明人 卢磊;斯晓;陶乃镕;隋曼龄;卢柯
分类号 B21B1/40;C22F1/08 主分类号 B21B1/40
代理机构 沈阳科苑专利代理有限责任公司 代理人 张晨
主权项 1、一种铜膜的制备方法,其特征在于:以晶粒尺寸小于100nm的纳米金属Cu为原材料,纯度高于99.995wt%,密度为8.91±0.03g/cm3,在室温冷轧,变形速率:1×10-5~1×101/s。
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