加工一个工件的方法

摘要

一种加工工件的方法，本发明与一种在其暴露面上形成有多个槽的工件加工方法有关，本发明包括沉积一个例如氮化钛材料的第一阻挡层13，一个铝合金材料的第二层11和一个较薄的氮化钛的第三层12，然后使两层之间的夹层升温和升压，这样第二层变变形而填充到槽10内。

主权项

1)一种工件的加工方法，在一暴露面内形成有多个槽，该方法把一第一层材料沉积在暴露面上的所有的槽上，以封闭所述的开口，在第一层上部沉积一抗反射涂层，并使涂层和第一层材料升温和升压，足以使第一层材料在未熔化时变形从而使第一层材料填充所述槽。