Precursor solution for forming thin film of ferroelectric substance and production process thereof,申请号EP19990106336-传众专利搜索

发明名称	Precursor solution for forming thin film of ferroelectric substance and production process thereof
摘要
申请公布号	EP0950726(B1)	申请公布日期	2003.07.30
申请号	EP19990106336	申请日期	1999.03.26
申请人	KRI INTERNATIONAL, INC.	发明人	AIZAWA, MAMORU
分类号	C04B35/49;C04B35/491;C07F7/24;C07F7/28;C08G79/14;C09D185/00;C09K3/00;C23C18/12;G11B5/62;H01B3/00;H01B3/12;H01L21/02;(IPC1-7):C23C18/12	主分类号	C04B35/49
代理机构		代理人
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