叠层型压电陶瓷元件的制造方法

摘要

本发明提供具有高机械强度、而且具有优异压电特性及可靠性的叠层型压电陶瓷元件的制造方法，包括在含有Pb元素化合物的压电陶瓷材料的陶瓷生片上涂布含有以Ag为主成分的导体的导电浆料、将该陶瓷生片重叠形成叠层体的步骤，以及将该叠层体在烧结时的升温过程中的氧浓度为体积的90％以上、而且在保持及降温过程中的氧浓度为体积的5％～15％的气氛中烧结的步骤。

主权项

1.一种叠层型压电陶瓷元件的制造方法，其特征在于，包括下述步骤：在含有Pb元素化合物的压电陶瓷材料的陶瓷生片上涂布含有以Ag为主成分的导体的导电浆料、将所述陶瓷生片重叠形成叠层体的步骤，以及所述叠层体在烧结时的升温过程中的氧浓度为体积的90％以上、而且在保持过程及降温过程中的氧浓度为体积的5％～15％的气氛中烧结的步骤。