POLISHING SLURRY FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF METAL AND METAL/DIELECTRIC STRUCTURES, METHOD FOR PRODUCE THEREOF AND USE THEREOF,申请号HU20010005244-传众专利搜索

发明名称	POLISHING SLURRY FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF METAL AND METAL/DIELECTRIC STRUCTURES, METHOD FOR PRODUCE THEREOF AND USE THEREOF
摘要
申请公布号	HU0105244(A3)	申请公布日期	2003.07.28
申请号	HU20010005244	申请日期	2001.12.03
申请人	BAYER AG., LEVERKUSEN	发明人
分类号	B24B37/00;B24B1/00;C09G1/02;C09G1/04;C09K3/14;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/321;H05K3/26	主分类号	B24B37/00
代理机构		代理人
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