发明名称 DLC LAYER SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING SAID LAYER SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20030063109(A) 申请公布日期 2003.07.28
申请号 KR20027013744 申请日期 2000.12.27
申请人 发明人
分类号 B32B9/00;C23C14/35;C23C14/06;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;H01J37/32 主分类号 B32B9/00
代理机构 代理人
主权项
地址