发明名称 CAPTEUR DE PARTICULES A FAIBLE ENERGIE
摘要
申请公布号 FR2796493(B1) 申请公布日期 2003.07.25
申请号 FR19990009261 申请日期 1999.07.16
申请人 CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA 发明人 WEISS PAUL
分类号 H01L27/144;H01L27/146;(IPC1-7):H01L31/118;G01T1/24 主分类号 H01L27/144
代理机构 代理人
主权项
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