发明名称 Massenstrom-Verhältnis-System und -Verfahren
摘要 <p>Ein System zur Aufteilung einer einzelnen Massenströmung schließt einen zum Empfang einer einzelnen Massenströmung ausgebildeten Einlaß (12) und zumindest zwei mit dem Einlaß verbundene Strömungsleitungen (14a, 14b) ein. Jede Strömungsleitung schließt ein Strömungsmeßgerät (18a, 18b) und ein Ventil (20a, 20b) ein. Das System schließt weiterhin ein Steuergerät (24) ein, das zum Empfang eines Soll-Strömungsverhältnisses über eine Benutzer-Schnittstelle (22), zum Empfang von die gemessenen Strömung anzeigenden Signalen von den Strömungsmeßgeräten, zur Berechnung eines Ist-Strömungsverhältnisses durch die Strömungsleitungen auf der Grundlage der gemessenen Strömungen und zum Vergleich des Ist-Verhältnisses mit dem Sollverhältnis programmiert ist. Das Steuergerät ist weiterhin so programmiert, daß es die Soll-Strömung durch zumindest eine der Strömungsleitungen berechnet, wenn das Ist-Verhältnis ungleich dem Soll-Verhältnis ist, und ein die Soll-Strömung anzeigendes Signal an zumindest eines der Ventile liefert.</p>
申请公布号 DE10300029(A1) 申请公布日期 2003.07.24
申请号 DE2003100029 申请日期 2003.01.03
申请人 MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER 发明人 AMBROSINA, JESSE;KOTTENSTETTE, NICHOLAS;SHAJII, ALI
分类号 G01F1/00;G01F1/68;G05D11/13;(IPC1-7):G05D11/02 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
主权项
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