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发明名称 Verfahren und Anordnung zum Einwirken mit einem Lichtstrahl in einen Entladungsraum
摘要
申请公布号 DE4117005(C2) 申请公布日期 2003.07.24
申请号 DE19914117005 申请日期 1991.05.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 WELLERDIECK, KLAUS;BOSSHARD, NICKLAUS;RHYNER, STEFAN
分类号 C23C14/32;C23C16/50;H01J37/32;H05H1/10;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/073;C23C14/24;H05H1/46 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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