| 发明名称 |
METHOD FOR POST-ETCH AND STRIP RESIDUE REMOVAL ON CORAL FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002361829(A1) |
申请公布日期 |
2003.07.24 |
| 申请号 |
AU20020361829 |
申请日期 |
2002.12.20 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
KATRINA MIKHAYLICHENKO;MICHAEL RAVKIN;JOHN DELARIOS |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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