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<p>Eine elektrische Eigenschaft einer Materialschicht (3) oder schichtartigen Materialstruktur wird an verschiedenen Stellen gemessen, die mit Anschlusskontakten (5, 6) versehen sind. Von einem jeweiligen Wert wird ein über eine Grundgesamtheit von IC-Chips genommener Mittelwert der Messung subtrahiert und aus dem so gewonnenen Ergebnis zu jedem IC-Chip ein digitales Wort zur Identifizierung des betreffenden Chips gebildet. Die Messung kann mit einer Kreuzkorrelation vorgenommen werden, bei der die Messbereiche über Kreuz angeordnet sind.</p> |
