Method for forming a shallow trench isolation structure with improved corner rounding,申请号AU20020357172-传众专利搜索

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发明名称	Method for forming a shallow trench isolation structure with improved corner rounding
摘要
申请公布号	AU2002357172(A8)	申请公布日期	2003.07.24
申请号	AU20020357172	申请日期	2002.12.11
申请人	ADVANCED MICRO DEVICES, INC.	发明人	KUO-TUNG CHANG;YU SUN;HARPREET K. SACHAR;HIROYUKI KINOSHITA;UNSOON KIM;MARK S. CHANG
分类号	H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/316;H01L21/311	主分类号	H01L21/76
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