Vorrichtung und Verfahren zur optischen Profilmessung,申请号DE19976022876-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung und Verfahren zur optischen Profilmessung
摘要
申请公布号	DE69722876(D1)	申请公布日期	2003.07.24
申请号	DE19976022876	申请日期	1997.08.28
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK	发明人	LU, HUIZONG;TAHERI,ALI REZA
分类号	G01B11/06;G01B11/30;G01N21/95;(IPC1-7):G01B9/02;G01N21/88	主分类号	G01B11/06
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利