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发明名称 Partikelmeßgerätanordnung sowie Gerät zur Prozessierung von Halbleiterscheiben mit einer solchen Anordnung
摘要
申请公布号 DE10143075(C2) 申请公布日期 2003.07.24
申请号 DE20011043075 申请日期 2001.09.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 TRUNK, RALPH;SCHMID, HEINZ;SCHNEIDER, CLAUS;PFITZNER, LOTHAR
分类号 B08B3/08;G01N15/06;G01N15/10;(IPC1-7):G01N15/06 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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