| 发明名称 |
Mechanisches Greifergelenk für Roboter |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69809308(T2) |
申请公布日期 |
2003.07.24 |
| 申请号 |
DE1998609308T |
申请日期 |
1998.02.03 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
KROEKER, TONY;HUDGENS, JEFFREY C. |
| 分类号 |
B25J18/02;B25J9/10;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B25J9/10;H01L21/00 |
主分类号 |
B25J18/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
