| 发明名称 |
Cathode for vacuum arc evaporators |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003209606(A8) |
申请公布日期 |
2003.07.24 |
| 申请号 |
AU20030209606 |
申请日期 |
2003.01.14 |
| 申请人 |
VARCO LTD. |
发明人 |
EFIM BENDER;ALEKSANDER ARENSHTAM;NITZAN ELIYAHU |
| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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