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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR CONDITIONING AND TEMPERATURE CONTROL OF A PROCESSING SURFACE
摘要
申请公布号 AU2002367250(A1) 申请公布日期 2003.07.24
申请号 AU20020367250 申请日期 2002.12.26
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 EMIL, A. KNEER
分类号 B24B37/00;B24B21/04;B24B37/04;B24B49/14;B24B53/007;B24B53/047;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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