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发明名称
Detection of metals in semiconductor wafers
摘要
申请公布号
GB2384303(A)
申请公布日期
2003.07.23
申请号
GB20010022932
申请日期
2001.09.24
申请人
* PURE WAFER LIMITED
发明人
GARY LEWIS * JONES
分类号
G01N1/00;G01N1/04;G01N21/71;(IPC1-7):G01J3/443
主分类号
G01N1/00
代理机构
代理人
主权项
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