二氧化硅薄膜的生产设备及其所用的生产方法

摘要

一种生产二氧化硅薄膜的设备，该设备包括一含有一装载多片晶片的装载部件用于移动传输所装载的晶片的传送器、一设于传送器之上用以产生火焰在多片晶片上淀积二氧化硅烟灰的淀积部件、一邻近淀积部件用于从二氧化硅烟灰中去除水分的煅烧部件、以及一邻近煅烧部件用于使煅烧的二氧化硅烟灰致密形成一层二氧化硅薄膜的烧结部件。以此就能使二氧化硅薄膜的生产工艺连续进行，提高了生产率。

主权项

1、一种生产二氧化硅薄膜的设备，其特征在于，它包括：一包含一装载多片晶片的装载部件的传送器，用以移动传输所装载的晶片；一淀积部件，包含用于提供气体材料形成火焰的喷枪17，设在传送器之上，用以产生火焰在多片晶片上淀积二氧化硅烟灰；一煅烧部件，与淀积部件邻近，用以从二氧化硅烟灰中去除水分，以及一烧结部件，与煅烧部件邻近，用以使煅烧的二氧化硅烟灰致密形成一层二氧化硅薄膜。