| 发明名称 |
Method and apparatus for monitoring molecular contamination of critical surfaces using coated saws |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0314106(D0) |
申请公布日期 |
2003.07.23 |
| 申请号 |
GB20030014106 |
申请日期 |
2003.06.18 |
| 申请人 |
PARTICLE MEASURING SYSTEMS INC |
发明人 |
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| 分类号 |
G01N29/00;G01N7/00;G01N15/00;G01N27/02;G01N29/02;G01N29/036 |
主分类号 |
G01N29/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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