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发明名称 A PROBE ASSEMBLY FOR DETECTING AN ION IN A PLASMA GENERATED IN AN ION SOURCE
摘要
申请公布号 EP1328961(A2) 申请公布日期 2003.07.23
申请号 EP20010978610 申请日期 2001.10.24
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BENVENISTE, VICTOR, MAURICE
分类号 H01J27/02;H01J37/08;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/08;H01J37/244;H05H1/00 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
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