检测表面形状的点衍射干涉仪

摘要

一种检测表面形状的点衍射干涉仪，包括光学部分和数据采集、处理和控制部分。光学部分包含激光器，沿激光束前进方向的光轴上，依次设有会聚透镜，镀有超分辨掩膜的固体浸润透镜，在光轴的上方放置待测器件，下方设有成像透镜；数据采集、处理和控制部分包含CCD摄像机，计算机和位移控制器。本发明的关键是通过采用固体浸润透镜和超分辨掩膜的技术，获得了一个更小的小孔作为点衍射干涉仪的理想球面波的光源，该小孔不仅位置和大小均可调，而且光透过率高，对入射光束的质量要求较低，因而本发明是一种测量精度高、易于装配和调整的检测器件表面形状的装置。

主权项

1.一种检测表面形状的点衍射干涉仪，包括光学部分和数据采集、处理和控制部分，其特征在于：所述的光学部分包含激光器(1)，沿激光束前进方向的光轴上，依次设有会聚透镜(2)，镀有超分辨掩膜(3b)的固体浸润透镜(3)，在光轴的上方放置待测器件(4)，下方设有成像透镜(6)；所述的数据采集、处理和控制部分包含CCD摄像机(5)、计算机(7)和位移控制器(8)；上述各元器件的位置关系如下：该固体浸润透镜(3)固定在该位移控制装置(8)上，计算机(7)连接并控制CCD摄像机(5)和位移控制器(8)的工作，激光器(1)发出的激光束经会聚透镜(2)后，其焦点落在固体浸润透镜(3)一侧的超分辨掩膜(3b)中间，形成小孔并经过该小孔(3c)照射待测器件(4)，该待测器件(4)的表面TS反射的测量光束聚焦到该超分辨掩膜(3b)的表面，经该超分辨掩膜(3b)的反射后，该测量光束和从小孔(3c)发出的参考光束一起经成像透镜(6)进入CCD摄像机(5)。