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发明名称
摘要
申请公布号	JP3427609(B2)	申请公布日期	2003.07.22
申请号	JP19960039162	申请日期	1996.02.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/265;H01L21/324;H01L21/329;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/749;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/329	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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