| 主权项 |
1.一种光学监测系统,其包含:一组基片;一组被制造在该基片上之平行频道光学阵列(44),该平行频道光学阵列(44)具有多数个独立频道,各频道包含用以发射输入光束(32)之一组光学发射器;一组检测器(28)阵列,各该检测器(28)被配合于一组该输入光束(32);一组被置放而受该等输入光束(32)照射之光学配置(10),该光学配置(10)具有光学性质以引导各该输入光束(32)之部份绕射至被配合于该输入光束(32)之该检测器(28),该检测器(28)可操作以产生反应于该等输入光束(32)之该被绕射部份之第一反馈信号(90);以及一组反应于该第一反馈信号(90)而被引动以分别地调整该输入光束(32)之反馈系统(30)。2.如申请专利范围第1项之光学监测系统,其中该光学配置(10)具有多数个离散输入表面,各该输入表面对应至该等平行频道光学阵列(44)之该等频道之特定一组并且被组态以绕射该输入光束(32)之该部份至该配合检测器(28)。3.如申请专利范围第1项之光学监测系统,其中该光学配置(10)具有一对应至该平行频道光学阵列(44)之所有该频道并且被组态以绕射所有该输入光束(32)之部份之单一输入表面。4.如申请专利范围第1项之光学监测系统,其中该光学配置(10)包含电脑产生全像图(CGH)(64)、容积全像图、以及光栅(80)之一的光学性质,该等光学性质被组态以通过该输入光束(32)之第一部份(34)并且绕射第二部份(36),该第一部份(34)对应至供资料传输之第一目标绕射阶并且该第二部份对应至供监测之第二目标绕射阶。5.如申请专利范围第2项之光学监测系统,其中该光学配置(10)包含电脑产生全像图(CGH)(64)、容积全像图、以及光栅(80)之一的光学性质,该等光学性质被组态以通过该输入光束(32)之第一部份(34)并且绕射第二部份(36),该第一部份(34)对应至供资料传输之第一目标绕射阶并且该第二部份对应至供监测之第二目标绕射阶。6.如申请专利范围第3项之光学监测系统,其中该光学配置(10)包含电脑产生全像图(CGH)(64)、容积全像图、以及光栅(80)之一的光学性质,该等光学性质被组态以通过该输入光束(32)之第一部份(34)并且绕射第二部份(36),该第一部份(34)对应至供资料传输之第一目标绕射阶并且该第二部份对应至供监测之第二目标绕射阶。7.如申请专利范围第4项之光学监测系统,其中该第一目标绕射阶是第0组绕射阶并且该第二目标绕射阶是第9组绕射阶。8.如申请专利范围第5项之光学监测系统,其中该第一目标绕射阶是第0组绕射阶并且该第二目标绕射阶是第9组绕射阶。9.如申请专利范围第6项之光学监测系统,其中该第一目标绕射阶是第0组绕射阶并且该第二目标绕射阶是第9组绕射阶。10.如申请专利范围第4项之光学监测系统,其中该CGH(64)是一维的CGH(66)与二维的CGH(68)之一组,该一维的CGH(66)具有沿着一轴每周期至少八个离散表面深度(70)并且该二维CGH(68)具有沿着两轴每周期至少八个离散表面深度(70)。11.如申请专利范围第5项之光学监测系统,其中该CGH(64)是一维的CGH(66)与二维的CGH(68)之一组,该一维的CGH(66)具有沿着一轴每周期至少八个离散表面深度(70)并且该二维CGH(68)具有沿着两轴每周期至少八个离散表面深度(70)。12.如申请专利范围第6项之光学监测系统,其中该CGH(64)是一维的CGH(66)与二维的CGH(68)之一组,该一维的CGH(66)具有沿着一轴每周期至少八个离散表面深度(70)并且该二维CGH(68)具有沿着两轴每周期至少八个离散表面深度(70)。13.如申请专利范围第1.2.3.4.5.6.7.8.9.10.11或12项之光学监测系统,其进一步地包含被配置以至于该第二部份(36)被反射至该检测器(28)之第一反射区域(16)。14.如申请专利范围第1.2.3.4.5.6.7.8.9.10.11或12项之光学监测系统,其中该反馈系统(30)进一步地包含:一组用以取得曝光资料之感知器(92),该曝光资料是一组第二反馈信号;一组用以提供该曝光资料之特征资料之记忆体元件(94),该特征资料包含各该光学发射器的目标功率位准资讯;以及一组反应在该目标功率位准资讯和该第二反馈信号之间的差量而用以调整该输入光束(32)之修改机构。15.如申请专利范围第14项之光学监测系统,其中该曝光资料包含温度资料。16.如申请专利范围第1项之光学监测系统,其中该检测器(28)以及该反馈系统(30)被整合在一单一基片构件上。图式简单说明:第1图是依据本发明利用用以反射和引导输入光束第二部份至检测输出区域之反射区域阵列之绕射光学配置(DOA)的截面图。第2图是展示平行频道光学阵列和基片之第1图之媒体顶部截面图。第3A图是具有DOA阵列且各DOA对应至阵列中一组独立频道之第2图媒体的顶部截面图。第3B图是具有对应至阵列所有频道之单一DOA之第2图媒体的顶部截面图。第4图是在检测器可允许容限之内以便平行移位于第1图DOA和媒体之间的被绕射部份之截面影像。第5A,5B和5C图是在检测器可允许容限之内以便垂直移位于第1图DOA和媒体之间的被绕射部份之截面影像。第6A图是具有螺旋组态之第1图之平行光束输入区域。第6B图是第6A图之平行光束输入区域之被检测的环状样型。第7图是展示作为具有电脑产生全像图(CGH)绕射性质之平行光束输入区域之第1图DOA的截面图。第8A图是具有每周期有八个离散深度之两组周期的第7图一维CGH之截面图。第8B图是第8A图之一维CGH之部份的顶部图。第9图是对于具有一串列环状样型之第7图一维CGH之被检测的光学功率输出图型。第10图是展示在三组目标传输之第9图一维CGH之光学功率输出的模拟资料。第11A图是依据第二实施例之第7图二维CGH的顶部图。第11B图是具有环状样型之两组相交串列之第7图二维CGH之被检测的光学功率输出图型。第12图是展示作为具有光栅绕射性质的平行光束输入区域之第1图DOA的截面图。第13图是展示用以调整至平行频道光学阵列中各雷射二极体之输入电流的第1图检测器和反馈系统之连接的方块图。第14图是用以保持平行频道光学阵列中各雷射二极体之最佳电力位准的处理程序流程图。 |
